ROBOTY - IselPrag - Automatik s.r.o

• manipulace s wafery do 200 mm
• nákladově efektivní
• vynikající strukturální tuhost a přesnost
• maximální spolehlivost
• horní montáž (TA) nebo spodní montáž (BA)
• řešení na míru
• inkrementální enkodér
• řídicí jednotka a software v základní verzi
• splňuje požadavky ISO stupně 1 prosředí čistých prostor
• životnost > 70 000 provozních hodin

• vynikající strukturální tuhost
• manipulace s wafery do 300 mm
• maximální spolehlivost a přesnost
• velmi hladký chod
• bezvůlové převody Harmonic Drive®
• absolutní nebo inkrementální enkodér
• manualní nastavení vakua s digitálním zobrazením
• pro náročnější aplikace možnost opce programového řízení vakua
• řídicí jednotka a software v základní či pokročilé verzi
• splňuje požadavky ISO stupně 1 prostředí čistých prostor
• životnost > 70 000 provozních hodin

• pro manipulaci s wafery až do velikosti 300 mm
• stavebnicový systém
• nízká hmotnost, vynijající pevnost

• jednoosá varianta je řízena robotem jako přidružená osa
• tříosá varianta pracuje nezávisle a centruje čtvercové či obdélníkové objekty o rozměrech 45 – 480 mm bez ohledu na jejich průhlednost
• vysoká přesnost
• splňují požadavky ISO stupně 1 prostředí čistých prostor